Исследование элементного состава и структуры поверхностных слоев материалов по мгновенному излучению, сопровождающему взаимодействие ускоренных ионных пучков с атомными ядрами, является мощным материаловедческим методом.

В отличие от активационных методов, в данном случае определяется не только концентрация элементов, но и профиль их распределения по глубине.

• Высокая чувствительность анализа при помощи ускоренных ионных пучков позволяет обнаружить элементы на уровне десятков и единиц частей на миллион. Разрешение по глубине при этом находится в пределах от единиц до десятков нанометров.
• Анализируемая глубина составляет от нескольких десятков нанометров до нескольких десятков микрон.
• Анализ является количественным с точностью до нескольких процентов, причем в принципе количественные результаты могут быть получены без использования стандартных образцов сравнения.
• Анализу подлежат практически все элементы от водорода до урана, причем оказывается доступной и информация о изотопном составе образца.
• Дозы облучения образцов при проведении анализа невелики, и потому анализ является неразрушающим.