Основные характеристики
Вакуум в аналитической камере, мм рт.ст. | до 10–10 |
Мощность нагревателей, кВт | до 5 |
Температура материалов, К | до 2500 |
Методическое обеспечение:
- масс-спектрометрия остаточных газов аналитической камеры;
- электронная Оже-спектроскопия для определения элементного состава поверхности материалов;
- спектроскопия полного тока для определения кристаллографической ориентации приповерхностных слоёв атомов материала;
- контактная разность потенциалов для определения работы выхода электронов с поверхности материала.